單晶矽（Monocrystalline Silicon）/擴散矽壓力傳送器（Piezoresistive Silicon Pressure Transmitter)壓力傳送器是目前工業自動化領域中精準度最高、穩定性最好的壓力測量工具之一。其核心技術在於利用矽的壓阻效應（Piezoresistive Effect）。 

單晶矽壓力傳送器的感測元件是一個由單晶矽製成的微小彈性膜片。

• 微觀機制：在矽膜片的特定晶面上，利用半導體工藝（如離子注入）滲雜形成四個電阻，並組合成一個惠斯通電橋（Wheatstone Bridge）。

• 形變與電阻變化：當壓力作用於膜片時，膜片會產生微小的形變。這種機械應力會導致矽晶格結構發生變化，進而改變電阻值的阻值。

• 信號轉換：電橋感應到阻值變化後，會輸出一個與壓力成正比的毫伏（mV）級電壓信號。

為了保護脆弱的矽晶片，傳送器通常採用間接測量結構：

隔離膜片：外部介質（液體或氣體）首先接觸不鏽鋼或其他材質的隔離膜片。

填充液（灌充油）：壓力通過填充液（通常是矽油）傳遞到內部的單晶矽感測器。

封裝設計：感測器通常被封裝在一個堅固的殼體內，並採用「懸浮式」設計，以減少外部安裝應力和溫度波動對測量的影響。

電容式壓力感測器（Capacitive Pressure Sensor）是一種利用電容量變化來測量壓力的精密裝置。其核心構造通常由兩塊平行極板組成：一個是固定的參考電極，另一個則是會隨壓力產生位移的彈性隔膜（感應電極）。 

結構與運作過程

受壓變形：當流體（液體或氣體）壓力作用於金屬隔膜或陶瓷隔膜時，隔膜會向內凹陷。

位移轉換：隔膜的位移直接改變了它與內部固定電極之間的空間間隙。

電信號輸出：偵測電路（通常是振盪電路或電橋電路）會感測到這個微小的電容變化，並將其轉換為標準的電壓、電流或數位訊號（如 4-20mA）。

高靈敏度：能偵測極微小的壓力波動。